歡迎來到深圳市京都玉崎電子有限公司！
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產(chǎn)品分類 / PRODUCT
更新時間：2026-07-04 
瀏覽次數(shù)：71單泵大流量，集成成本更低
單臺最大 108.6mL/min，無需多臺小泵并聯(lián)、同步伺服、多路管路，減少閥門、電機、PLC 同步程序，節(jié)省無塵車間寶貴空間。
高粘度介質(zhì)輸送性能全系zui 優(yōu)
8mm 大柱塞吸入截面積更大，5000cps 以上高粘度光刻膠、環(huán)氧膠、高固漿料吸料順暢，流量衰減遠(yuǎn)小于 03/06。
長期量產(chǎn)穩(wěn)定性更強、運維更少
同等輸出流量下轉(zhuǎn)速更低，凸輪、柱塞、單向閥磨損速率顯著降低，產(chǎn)線連續(xù)運行數(shù)月無需重新校準(zhǔn)，減少停機維護頻次。
無脈動潔凈供液，適配gao端晶圓量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)
三重柱塞交替輸出無脈沖，管路無壓力沖擊，不會產(chǎn)生微氣泡，杜絕晶圓針孔、膜厚不良，提升芯片良率。
全系列通用潔凈泵頭，兼容半導(dǎo)體各類腐蝕 / 高純介質(zhì)
可切換非金屬 PEEK/PTFE 泵頭輸送光敏、厭氧、無金屬離子敏感化學(xué)品；哈氏合金適配強酸性蝕刻鍍液；316 拋光適配清洗、顯影藥液。
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