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產(chǎn)品分類 / PRODUCT
更新時間:2026-07-30
瀏覽次數(shù):10業(yè)務(wù)板塊:民用水泵、工業(yè)泵、半導(dǎo)體干式真空泵、CMP 研磨設(shè)備、廢氣處理裝置;
真空泵定位:主打無油干式真空泵(半導(dǎo)體主力),同時保有傳統(tǒng)水環(huán)泵、油旋片泵;
市場格局:亞洲晶圓廠、面板、光伏產(chǎn)線大量標配;直接對標英國 Edwards 愛德華、日本 ULVAC 愛發(fā)科。
區(qū)分要點:荏原 = EBARA;不要和 Ebara、其他小型泵廠混淆;真空泵生產(chǎn)基地:日本、中國上海荏原精密。
耐腐蝕日系強項:NiResist 鑄鐵、特殊涂層版本,對比愛發(fā)科,腐蝕氣體工況壽命更長;亞洲晶圓廠刻蝕工藝shou選;
完整電壓規(guī)格:AC100V/200V(日規(guī)設(shè)備)、三相 200/220/380V 全覆蓋,適配日系自動化設(shè)備;
低振動低噪音,對精密檢測設(shè)備友好;
智能通訊標準配置(RS485 / 以太網(wǎng)),設(shè)備聯(lián)動報警、遠程監(jiān)控;
50/60Hz 下性能一致性好,進出口設(shè)備通用;
在國內(nèi)設(shè)有荏原精密(上海),備件、維修服務(wù)網(wǎng)絡(luò)wan善。
干式泵采購價格高于 ULVAC 愛發(fā)科;同工況略低于愛德華;
重載干泵大多需要冷卻水,小型風冷機型選型范圍有限;
保養(yǎng)耗材(轉(zhuǎn)子密封、吹掃組件)成本高于國產(chǎn)干泵;
超高真kong前級應(yīng)用,產(chǎn)品線不如普發(fā) Pfeiffer 齊全。
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