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產品分類 / PRODUCT
更新時間:2026-07-30
瀏覽次數:10化工行業:真空蒸餾、真空干燥、真空過濾、溶劑回收;抽吸含水蒸氣、少量腐蝕性氣體
食品工業:真空濃縮、果蔬脫水、醬料真空脫氣
造紙、礦山:漿料脫水、負壓輸送
污水處理:真空抽吸、污泥脫水
塑膠通用:普通物料脫泡(無高精度潔凈要求)
易燃易爆氣體抽吸(水介質具備防爆優勢)
特點:極限真空低(3~10kPa),依賴循環水,有廢水產生。
普通實驗室簡易真空、小型樹脂脫泡
普通熱處理、小型真空釬焊(要求不高)
作為高真空設備臨時前級泵(老舊設備)
工藝不能接觸油霧(芯片、光學膜、鍍膜)
持續產生水蒸氣、酸性氣體:真空泵油快速乳化、變質
痛點:停機易發生油返流,一旦倒灌直接報廢腔體產品;現在精密行業大量淘汰。
晶圓刻蝕、CVD、PVD、ALD、離子注入
Load-Lock 腔體預抽、等離子清洗
OLED/LCD 面板真空蒸鍍、薄膜工藝
鋰電池:極片真空烘烤、真空注液、電解液脫氣
光伏:HJT、PECVD 鍍膜、硅片鍍膜制程
真空焊接、真空燒結
醫療器械真空生產
廢氣中含有輕微腐蝕氣體、少量水汽工況(搭配氮氣吹掃)
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