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產品分類 / PRODUCT
更新時間:2026-07-30
瀏覽次數:12區分濕式:濕式靠油 / 水填充間隙密封;干泵靠微米級機械間隙密封。
吸氣
爪形轉子轉動,腔體容積由小變大,真空負壓將工藝氣體吸入泵腔。
封閉
轉子繼續旋轉,進氣口隔離,氣體被封閉在腔體內。
壓縮
腔體容積不斷縮小,封閉氣體被逐級壓縮(多級連續壓縮)。
排氣
腔體連通排氣口,壓縮后的氣體向外排出。
氣路腔體無油
齒輪箱獨立密封潤滑,油無法進入真空通路,不會產生油霧返流,真空潔凈。
間隙密封,無法做到超高真空
間隙存在輕微氣體返流,極限真空一般 0.1~10 Pa,屬于中低真kong前級泵;想要高真空(分子泵)必須搭配干泵作為前級。
壓縮升溫
氣體壓縮會發熱;所以大功率機型需要水冷,小型風冷機型依靠散熱片散熱。
水汽、腐蝕性氣體對策
單純干泵不能長期抽吸高濃度水汽、酸性氣體,容易結晶附著轉子。
解決方案:持續氮氣吹掃(N? Purge),稀釋水汽、防止鹽類結晶。
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